M Serisi Debimetre
Çoğu gaz ölçüm uygulaması için kullanılabilir, önceden yüklenmiş 98 seçilebilir gaz kalibrasyonu sayesinde hassas gaz akış ölçümü yapılabilir
• 0,5 SCCM – 12.000 SLPM arası seçenekler
• 11,5 – 160 PSIA çalışma aralığı
• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i
• Tekrarlanabilirlik: ± (%0,1 okuma + %0,02 tam ölçek)