MEMS Termal Teknolojisi Kullanan Küçük Kütlesel Debi Ölçerler
Sınırlı alana sahip prosesler için üst düzey performans sunan küçük ve kompakt kütlesel debi ölçerlerdir. Avuç içine sığacak boyutta olmalarına rağmen dayanıklı yapıdadır.
• Kompakt ve dayanıklı metal akış gövdesi
• Hassas debi ölçümü
• Hızlı ve güçlü Alicat ASCII komut seti ile gelişmiş veri toplama senaryoları çalıştırabilme
• 9 gaz arasında geçiş imkânı: Air, N₂, O₂, CH₄, He, H₂, Ar, CO₂, N₂O
• Tam ölçeğin %0,1 – %100 arası ölçüm aralığı (1.000:1 turndown)
• Maksimum 3,75” genişlik
• Doğruluk: okuma değerinin ± %1,5’i (gaza bağlı)
• Tekrarlanabilirlik: okuma değerinin ± %0,25’i
• 0 – 50°C çalışma sıcaklığı aralığı
• 1 dakika ısınma süresi
