MCES Serisi

SEMI form faktöründe vakumda korozyona dayanıklı gaz kontrolü

• Korozyona dayanıklı SEMI standart tasarım

• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı

• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası (10.000:1 turndown oranı)

• Doğruluk: ± (%0,4 okuma + %0,2 tam ölçek)

• 128’den fazla önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu

• Tekrarlanabilirlik: tam ölçeğin ± %0,2’si

• Çalışma sıcaklığı: −10°C ile +60°C