Gazlar için Kütlesel Debi Kontrolörü (MFC)

Laminer diferansiyel basınç teknolojisine sahip kütlesel debi kontrol cihazları, çoğu endüstriyel proses ve araştırma uygulaması için en çok yönlü gaz akış kontrolörlerimizdir.

• Laminer DP (diferansiyel basınç) kütlesel debi ölçüm teknolojisi
• Önceden yüklenmiş 98–130 gaz kalibrasyonu — doğruluk kaybı olmadan geçiş imkânı
• Kütlesel debi, hacimsel debi, sıcaklık ve basınç ölçümü
• 30 ms’ye kadar düşebilen ultra hızlı kontrol tepki süresi
• %0,01 – %100 arası ölçüm ve kontrol aralığı
• Sınırlı ömür boyu garanti

Laminer Diferansiyel Basınç Teknolojisine Sahip Düşük Basınç Kayıplı Kütlesel Debi Kontrol Cihazları

Düşük basınç kayıplı kütlesel debi kontrol cihazları, sınırlı kaynak basıncına sahip sistemler için idealdir. Bu cihazlar minimum basınç kaybı oluşturur (0,07 PSID seviyesine kadar).

• Önceden yüklenmiş 98 gaz kalibrasyonu — doğruluk kaybı olmadan geçiş imkânı

• Kütlesel debi, hacimsel debi, sıcaklık ve basınç ölçümü

• Anında çalışmaya hazır (ısınma süresi yok denecek kadar kısa)

• %0,01 – %100 ölçüm aralığı

• Laminer diferansiyel basınç (DP) kütlesel debi ölçüm teknolojisi

• Çift yönlü akış kontrolü için uygun konfigürasyon seçenekleri

• Düşük basınç kayıplı yapısı sayesinde akış kontrolü ve ölçüm, sistemde fark edilir bir basınç tüketimi olmadan gerçekleştirilir

• Sınırlı ömür boyu garanti

Düşük Debiler için CODA™ Coriolis Gaz Akış Kontrol Cihazı, en zorlu akışkanlarla bile çalışma fırsatı sunar.

Gaz bileşiminden bağımsız olarak kütlesel debiyi Coriolis prensibi ile kontrol edin.

• Yüksek doğruluk seçeneği: okuma değerinin ± %0,5’i kadar

• Ekonomik standart doğruluk seçeneği: okuma değerinin ± %1,0’i kadar

• −35 ila 70°C çalışma sıcaklığı aralığı

• Bileşimi bilinmeyen veya değişken gazların kontrolü ve ölçümü

• Korozif ve korozif olmayan gazlarla uyumlu

• IP67 koruma sınıfı seçeneği

• Kütlesel debi, yoğunluk ve sıcaklık ölçümü

• < 140 ms kontrol tepki süresi

• Sınırlı ömür boyu garanti

Class I Division 1 için IS-Max™ Kütlesel Debi Kontrol Cihazı

Patlayıcı gazların bulunduğu Class I Div 1 veya Class I Div 2 alanlarda, patlamaya dayanıklı muhafazaya ihtiyaç duymadan kütlesel debi kontrolü sağlar. IS-Max, CID1 ve Zone 0 ortamları için tasarlanmış olup ATEX, IECEx, ve Kuzey Amerika standartlarına göre sertifikalandırılmıştır. ATEX ve EXPROOF isterleri bulunan alanlarda kullanım için geliştirilmiştir.

• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i veya tam ölçeğin ± %0,1’i (hangisi daha büyükse)

• Laminer diferansiyel basınç (DP) ölçüm teknolojisi

• Kendinden emniyetli (intrinsically safe) koruma — purge gazı veya ex-proof muhafaza gerektirmez

• Kütlesel debi, hacimsel debi, sıcaklık ve basınç ölçümü

• %0,01 – %100 ölçüm ve kontrol aralığı

• IP66 koruma sınıfı

BASIS™ Serisi Düşük Debili Kontrol Cihazları

OEM uygulamaları için ideal, kompakt MEMS termal kütlesel debi kontrol cihazlarıdır.

Bu kompakt kütlesel debi kontrolörleri, sınırlı alanlara sahip prosesler için üst segment performans sunar. Avuç içine sığacak boyutta olmalarına rağmen dayanıklı yapıdadır. Küçük ve hafif tasarımları sayesinde pano ve muhafazalarda yer tasarrufu sağlar. Seri alımlar için uygun fiyatlandırılmış olup OEM entegrasyonları için idealdir.

• Kompakt, dayanıklı metal akış gövdesi ile hassas debi kontrolü

• Hızlı ve güçlü Alicat ASCII komut seti ile gelişmiş akış kontrol senaryoları çalıştırabilme

• Dahili totalizer ile dozajlama ve batch işlemleri gerçekleştirme

• 9 gaz arasında geçiş imkânı: Air, N₂, O₂, CH₄, He, H₂, Ar, CO₂, N₂O

• Tam ölçeğin %0,1 – %100 arası ölçüm ve kontrol aralığı

OEM ürünler için kompakt gaz kontrol çözümleri

Gaz karışımınızı optimize etmek ve alan tasarrufu sağlamak için özel tasarlanmış kompakt gaz besleme modüllerini kullanın. Tek bir manifold, farklı gazlar için besleme sistemi olarak kullanılabilir. Bu sayede kaynaklar arasında geçiş yapabilir veya gazları karıştırabilirsiniz; böylece kompakt alanlarda entegrasyon süreci basitleştirilir.

Basit komutlar aracılığıyla bu gaz modülü; biyoreaktörlerden cam eritme fırınlarına kadar farklı ortamlara gazları kolaylıkla karıştırır. Opsiyonel aksesuarlar ve yazılımlar ile modülün çok yönlülüğü artırılabilir.

Uzman gaz akış mühendislerimizle iş birliği yaparak prosesinize özel, verimli ve kullanıma hazır çözümler tasarlayabilirsiniz. Debi oranlarını veya gaz kaynak sayısını ihtiyaca göre değiştirebilirsiniz.

Bu OEM modülündeki bireysel ünitelerin temel teknik özellikleri:

• Prosesinize özel tasarım

• Bilgisayar veya PLC ile kolay bağlantı

• Kompakt yapıda yüksek performans

• ± %0,25 debi tekrarlanabilirliği

• ± %1,5 debi doğruluğu (gaza bağlı olarak)

• 100 ms’ye kadar hızlı kontrol tepki süresi

• 9 gaz ile uyumlu: Air, N₂, O₂, CH₄, He, H₂, Ar, CO₂, N₂O

• Tam ölçeğin %0,1 – %100 arası ölçüm ve kontrol aralığı

Atmosfer Altı (Vakum) Akış Sistemleri için Kütlesel Debi Kontrol Cihazları

Vakum kütlesel debi kontrolörleri; CVD, ALD, PVD ve kaplama gibi vakum proseslerinde kolayca kullanılacak şekilde önceden yapılandırılmıştır. Bu cihazlar, 0,5 SCCM tam ölçekten 20 SLPM tam ölçeğe kadar gaz akışını ölçer ve kontrol eder.

• 30 ms’ye kadar ultra hızlı tepki süresi

• 130’a kadar önceden yüklenmiş gaz kalibrasyonu — doğruluk kaybı olmadan geçiş, daha az yedek ihtiyacı

• Daha az cihaz kullanımı: %0,01 – %100 ölçüm ve kontrol aralığı (10.000:1 turndown)

• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,4’ü ve tam ölçeğin ± %0,2’si

• Laminer diferansiyel basınç (DP) kütlesel debi ölçüm teknolojisi

• Kütlesel debi, hacimsel debi, sıcaklık ve basınç ölçümü

• Sınırlı ömür boyu garanti