Atmosfer Altı (Vakum) Akış Sistemleri için Kütlesel Debi Kontrol Cihazları
Vakum kütlesel debi kontrolörleri; CVD, ALD, PVD ve kaplama gibi vakum proseslerinde kolayca kullanılacak şekilde önceden yapılandırılmıştır. Bu cihazlar, 0,5 SCCM tam ölçekten 20 SLPM tam ölçeğe kadar gaz akışını ölçer ve kontrol eder.
• 30 ms’ye kadar ultra hızlı tepki süresi
• 130’a kadar önceden yüklenmiş gaz kalibrasyonu — doğruluk kaybı olmadan geçiş, daha az yedek ihtiyacı
• Daha az cihaz kullanımı: %0,01 – %100 ölçüm ve kontrol aralığı (10.000:1 turndown)
• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,4’ü ve tam ölçeğin ± %0,2’si
• Laminer diferansiyel basınç (DP) kütlesel debi ölçüm teknolojisi
• Kütlesel debi, hacimsel debi, sıcaklık ve basınç ölçümü
• Sınırlı ömür boyu garanti
SEMI form faktöründe vakumda korozyona dayanıklı gaz kontrolü
• Korozyona dayanıklı SEMI standart tasarım
• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı
• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası (10.000:1 turndown oranı)
• Doğruluk: ± (%0,4 okuma + %0,2 tam ölçek)
• 128’den fazla önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
• Tekrarlanabilirlik: tam ölçeğin ± %0,2’si
• Çalışma sıcaklığı: −10°C ile +60°C
Vakum Kütlesel Debi Kontrol Cihazları
• Pnömatik kapatma vanası
• 0,5 SCCM – 20 SLPM arası seçenekler
• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası
• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i veya tam ölçeğin ± %0,1’i (hangisi daha büyükse)
• Önceden yüklenmiş 98 seçilebilir gaz kalibrasyonu
• Entegre pnömatik vana
• Pnömatik vana sızdırmazlığı: maksimum 1 x 10⁻⁹ atm-cc/sn (helyum)
• Tekrarlanabilirlik: ± (%0,1 okuma + %0,02 tam ölçek) kadar iyi
Korozyona dayanıklı vakum kütlesel debi kontrol cihazları
• Korozyona dayanıklı pnömatik kapatma vanası
• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı
• Kararlı durumda tam ölçeğin %1 – %100 arası kontrol aralığı
• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,4’ü ve tam ölçeğin ± %0,2’si
• Uyumlu gazlar: 128’den fazla önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu
• Pnömatik vana sızdırmazlığı: maksimum 1 × 10⁻⁹ atm-cc/sn (helyum)
• Tekrarlanabilirlik: tam ölçeğin ± %0,2’si
SEMI form faktöründe vakum basınçlarında gaz kontrolü
• SEMI standart ayak izi
• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı
• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası
• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i veya tam ölçeğin ± %0,1’i (hangisi daha büyükse)
• Önceden yüklenmiş 98 seçilebilir gaz kalibrasyonu
• −10°C ile +60°C çalışma sıcaklığı aralığı
