MCV Serisi

Vakum Kütlesel Debi Kontrol Cihazları

• Pnömatik kapatma vanası

• 0,5 SCCM – 20 SLPM arası seçenekler

• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası

• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i veya tam ölçeğin ± %0,1’i (hangisi daha büyükse)

• Önceden yüklenmiş 98 seçilebilir gaz kalibrasyonu

• Entegre pnömatik vana

• Pnömatik vana sızdırmazlığı: maksimum 1 x 10⁻⁹ atm-cc/sn (helyum)

• Tekrarlanabilirlik: ± (%0,1 okuma + %0,02 tam ölçek) kadar iyi