MCVS Serisi

Korozyona dayanıklı vakum kütlesel debi kontrol cihazları

• Korozyona dayanıklı pnömatik kapatma vanası

• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı

• Kararlı durumda tam ölçeğin %1 – %100 arası kontrol aralığı

• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,4’ü ve tam ölçeğin ± %0,2’si

• Uyumlu gazlar: 128’den fazla önceden yüklenmiş seçilebilir gaz kalibrasyonu

• Pnömatik vana sızdırmazlığı: maksimum 1 × 10⁻⁹ atm-cc/sn (helyum)

• Tekrarlanabilirlik: tam ölçeğin ± %0,2’si