SFF Serisi

SEMI form faktöründe vakum basınçlarında gaz kontrolü

• SEMI standart ayak izi

• 0,5 SCCM – 20 SLPM tam ölçek aralığı

• Tam ölçeğin %0,01 – %100 arası

• Doğruluk: okuma değerinin ± %0,5’i veya tam ölçeğin ± %0,1’i (hangisi daha büyükse)

• Önceden yüklenmiş 98 seçilebilir gaz kalibrasyonu

• −10°C ile +60°C çalışma sıcaklığı aralığı