Düşük debili uygulamalar için hepsi bir arada 6 kanallı gaz karıştırıcı gaz mikseri amiral gemisi teknolojisi ile proseslerde istenilen gaz karışımlarının hazırlanmasını sağlar.
• Düşük debili uygulamalar için, turnkey MXM’in kompakt form faktörlü versiyonu
• 2 ila 6 adet entegre MFC (her biri 0–10 SCCM ile 0–10 SLPM arası, yalnızca korozif olmayan gazlar için)
• Tüm gaz girişleri ve bağlantılar için arka panelde tam bağlantı imkânı
• 9,2” x 11,7” x 7,3” elektrostatik boyalı şasi, alüminyum akış yolu
