Tüm debi uygulamaları için açık tip 10 kanallı gaz karıştırıcı gaz mikseri ile proseslerde istenilen gaz karışımlarının hazırlanmasını sağlar. Tamamen yapılandırılabilir, prosese göre özelleştirilebilirdir. Entegre montaj sistemi sayesinde, prosesinizde istenilen kontrol paneline eklenebilir.
• Masaüstü uzaktan kontrollü MXM ile aynı özellik ve yeteneklere sahip endüstriyel form faktör
• 2 ila 10 adet entegre MFC (her biri 0–100 SCCM ile 0–12.000 SLPM arası seçilebilir)
• 19” 4U rack uyumlu, çelik şasi ve arka basınç portları
