Tüm debi uygulamaları için açık tip 10 kanallı gaz karıştırıcı, gaz mikseri ile proseslerde istenilen gaz karışımlarının hazırlanmasını sağlar. Tamamen yapılandırılabilir, prosese göre özelleştirilebilirdir.
• Uzaktan kontrol arayüz kutusu
• 2 ila 10 adet entegre MFC (her biri 0–100 SCCM ile 0–12.000 SLPM arası seçilebilir)
• Sabit debi uygulamaları ve genişletilmiş aralık için dinamik basınç kontrolü
• 9,2” x 11,7” x 7,3” kompakt masaüstü kontrol ünitesi
